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產(chǎn)品詳細(xì)頁(yè)

反射鏡，輸出耦合器和鏡頭

產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2023-12-21
產(chǎn)品介紹：反射鏡，輸出耦合器和鏡頭
Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件，例如分束器和可變衰減器
Ø單波長(zhǎng)增透膜，剩余反射率在AOI = 0°時(shí)R <0.25％，在AOI = 45°時(shí)R <0.6％（非偏振光）
Ø寬帶和多波長(zhǎng)增透膜
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
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產(chǎn)品介紹

品牌	其他品牌	價(jià)格區(qū)間	面議
組件類別	光學(xué)元件	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

反射鏡，輸出耦合器和鏡頭

圖1：隨機(jī)偏光（a）的反射鏡（AOI = 45°）在193 nm下的測(cè)量的反射率和透射光譜（a）和在兩面都涂有193 nm氟化物AR涂層的CaF2窗口（b）

Ø所有氟化物系統(tǒng)均確保高反射率和高損傷閾值

ØPR涂層的公差為：

Ø± 2% for R = 10 ... 30 %

Ø± 3% for R = 30 ... 75 %

Ø± 2% for R = 75 ... 90 % and

Ø± 1% for R > 90 %

ØCaF2（肖特公司193nm受激準(zhǔn)分子級(jí)）和熔融石英的高質(zhì)量鏡面基板，窗口片和透鏡

Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件，例如分束器和可變衰減器

Ø單波長(zhǎng)增透膜，剩余反射率在AOI = 0°時(shí)R <0.25％，在AOI = 45°時(shí)R <0.6％（非偏振光）

Ø寬帶和多波長(zhǎng)增透膜

可變衰減器

圖2：在不同的AOI（a）和透射率與AOI（b）下測(cè)得的可變衰減器的透射率光譜; 透射率從AOI = 0°時(shí)的T> 88％到AOI = 45°時(shí)的T <2％

Ø可根據(jù)要求提供不同傳輸范圍的衰減器

Ø衰減器可以與CaF2熔融石英的AR涂層補(bǔ)償板一起提供

鋁反射鏡

圖3：優(yōu)化了針對(duì)193nm的受保護(hù)Al鏡（a）和針對(duì)193nm的增強(qiáng)Al鏡（AOI = 45°（b））的測(cè)量反射光譜

增強(qiáng)鋁鏡：Rp
> 93%
Rs
> 99%
Rr
> 96%

有關(guān)鋁鏡的更多信息，請(qǐng)參見目錄中的96-97頁(yè)。

標(biāo)準(zhǔn)ArF激光元件的技術(shù)參數(shù)

Coating	Substrate	Damage threshold*	Lifetime test

Fluoride coatings
AR (0°, 193nm) R < 0.25%	CaF2	4 – 5 J/cm2	2.5 x 108 pulses, no damage**
AR (0°, 193nm) R < 0.25%	fused silica	2 – 3 J/cm2
PR (0°, 193nm) R = 25%	CaF2	3 – 4 J/cm2	2.5 x 108 pulses, no damage**
PR (0°, 193nm) R = 50%	CaF2	2 – 3 J/cm2	109 pulses***
HR (0°, 193nm) R > 96%	CaF2	2 – 3 J/cm2	109 pulses*, no damage 1010 pulses, no damage 4 x 109 pulses***, no damage
HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized)	CaF2	2 – 3 J/cm2
Oxide coatings
HR (0°, 193nm) R>92%	fused silica	<1 J/cm2

1）1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大學(xué)進(jìn)行了測(cè)量

2）能量密度：18mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試

3）能量密度：55mJ / cm 2，重復(fù)率：1kHZ，脈沖持續(xù)時(shí)間15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試

4）能量密度：27mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試

5）能量密度：80mJ / cm 2，重復(fù)頻率：1kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試

反射鏡，輸出耦合器和鏡頭

圖1：157nm的激光鏡（AOI = 0°，a）和轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°，b）的測(cè)量反射率和透射光譜

Ø激光鏡：AO = 0°時(shí)R = 92 ... 95％

Ø轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°）：

ØRs
> 97%

ØRp
> 90%

ØRr
> 92%

ØCaF2的高品質(zhì)鏡面基板，窗口片和鏡片（肖特公司157nm受激準(zhǔn)分子級(jí)品質(zhì)）

Ø具有公差的PR涂層

Ø± 2 % for R = 10 ... 30 %

Ø± 3 % for R = 30 ... 75 % and

Ø± 2 % for R = 75 ... 90 %

Ø根據(jù)客戶要求開發(fā)和生產(chǎn)特定組件，例如分束器和可變衰減器

圖2：標(biāo)準(zhǔn)輸出耦合器在R = 50±3％和R = 25±2％時(shí)測(cè)得的反射光譜（背面未鍍膜）

可變衰減器

圖3：可變衰減器在不同AOI（a）和透射率與AOI（b）下測(cè)得的透射光譜透射率從AOI = 0°時(shí)的T> 75％到AOI = 45°時(shí)的T <5％

F2激光鋁鏡

圖4：受保護(hù)的Al鏡（a）和增強(qiáng)型Al鏡在157nm下的反射光譜（b）

受保護(hù)的鋁鏡（針對(duì)157nm進(jìn)行了優(yōu)化）：R = 74 ... 78％

電介質(zhì)增強(qiáng)型鋁鏡：AOI = 0°時(shí)R = 94％

有關(guān)鋁鏡的更多信息，請(qǐng)參閱我們的目錄中的第96 - 97頁(yè)。

標(biāo)準(zhǔn)F2激光組件的技術(shù)數(shù)據(jù)

Coating	Spectral performance	Lifetime test
HR (0°, 157nm)	R = 92 ... 95 %	2 x 108 – 1 x 109 pulses*
HR (45°, 157nm)	R = 90 ... 94 % (random pol.)
PR (0°, 157nm)	R = 50 ± 3 %	2 x 108 – 1 x 109 pulses*
PR (0°, 157nm)	R = 25 ± 3 %	2 x 108 – 1 x 109 pulses*
Attenuator	T = 67 ± 3 %	5 x 107 pulses**, no damage
Attenuator	T = 33 ± 3 %	1 x 108 pulses***, no damage
Beam splitter	T = 20 ± 3 %	1 x 108 pulses***, no damage
AR (0°, 157nm)	0.3 ... 0.7 %